<ºÒÆò¹Ú¹°°ü>Àº °³ÀÎÀÇ ºÒÆòÀÌ »îÀÇ °³¼±¿¡ ´ëÇÑ Èñ¸Á°ú ÀÇÁö¸¦ ´ã°í ÀÖ´Ù´Â °üÁ¡¿¡¼ Ãâ¹ßÇÏ¿©, ½Ã¹ÎµéÀÇ ºÒÆòÀ¸·ÎºÎÅÍ °³¹æÀûÀÎ ³íÀÇ¿Í º¯È¸¦ À̲ø¾î³»´Â ¹æ¹ýÀ» ¿¬±¸ÇÏ°í ½ÇÇàÇÑ ÇÁ·ÎÁ§Æ®ÀÌ´Ù. ¸ÕÀú Ä¿¹Â´ÏƼ ¹ÂÁö¾ö ÇÁ·ÎÁ§Æ®(CMP)´Â ¾È¾ç¿ª Àα٠³× °³ÀÇ °ÅÁÖÁö±¸¿Í »ó¾÷Áö±¸¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î °Å¸® dz°æÀ» Æijë¶ó¸¶·Î ÃÔ¿µÇß´Ù. ÀÌ »çÁøµéÀ» ¾È¾ç¿ª ÁÖº¯¿¡ Àü½ÃÇÏ°í ¿À°¡´Â ½Ã¹ÎµéÀÌ ´©±¸³ª ºÒÆòÀ» Àû¾î ³ÖÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï Çß´Ù. µ¿½Ã¿¡ Àα٠»óÀÎ, ÁÖ¹Î, °ø¹«¿ø, °æÂû µî ´Ù¾çÇÑ ½Ã¹ÎµéÀ» ¸¸³ª Áö¿ª¿¡ ´ëÇÑ ºÒÆò°ú Á¦¾ÈÀ» ¼öÁýÇß´Ù. ¼öÁýÇÑ ºÒÆòÀº À̽´ º°·Î ¹üÁÖÈÇØ ±× Ư¼ºÀ» ºÐ¼®ÇßÀ¸¸ç, ÀÌ ÀڷḦ ½Ã°¢ÈÇÏ¿© ¾È¾ç¿ª¿¡ ¼³Ä¡ÇÑ º´Ç³ ÇüÅÂÀÇ °Å¸® Æijë¶ó¸¶¿Í Æò»ó¿¡ Ç¥ÇöÇØ Àü½ÃÇß´Ù. ÀÌ Àü½Ã¸¦ ÅëÇØ CMP´Â µµ½Ã ȯ°æÀ» ¹Ù¶óº¸´Â ½Ã¹ÎµéÀÇ °üÁ¡À» °øÀ¯ÇÒ »Ó ¾Æ´Ï¶ó, ´õ ¸¹Àº ½Ã¹ÎµéÀÌ ºÒÆòÀ» Ãß°¡ÇÏ°í Á¦¾ÈÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Áö¼ÓÀûÀÎ Âü¿©ÀÇ ÀåÀ» ¸¸µé°íÀÚ Çß´Ù. ¶ÇÇÑ ºÒÆòÀ» Á¦°øÇÏ´Â ÇöÀåÀ» Á÷Á¢ µÑ·¯º¸´Â ºÒÆò ¹Ú¹°°ü Åõ¾î¸¦ µµ½¼Æ® ÇÁ·Î±×·¥À¸·Î ¿î¿µÇϱ⵵ Çß´Ù.